浙江氮气气体管道设计价位 上海市弘技流体控制系统供应

气体管道、阀门和附件要求?：1、气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。2、气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管，不得采用乳胶管。3、阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。4、阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。5、气体管道中的法兰垫片其材质应依管内输送的介质确定。各种气体管道也应按标准单元组合设计。浙江氮气气体管道设计价位

对于低蒸汽压气体(WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等)，需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精确控制流量，在气源端一般会考虑配置高精度的压力变送器、电子秤、温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计，压力调节阀。对于剧毒、高反应性和自燃气体，应使用双套管输送。同时管道的设计要采用零死区设计，即整个管道系统从气柜到VMB、从VMB到用气点，要点对点，中间不允许有在气体置换时有残留空气的死角。因此，整个管路系统中由VMB完成气体的分配，中间没有三通。然后管道还要有良好的接地。浙江氮气气体管道设计价位气体管道设计有很多方面，都有不同的要求，气体管道敷设，气体管道、阀门和附件，气体管道连接及安全要求。

医用气体常用参数：常用气体管径的选用，氧气管径的计算式：式中：d=0.0188d—— 管道内径（m），v—— 气体流速（m/s），Q—— 气体在工作状态下的实际体积流量（m3/h ），Q=Q2—— 自由状态下的体积流量（m3/h ），t —— 气体工作状态时温度，p —— 气体工作状态时的尽对压力（MPa），氧气管道中流速较大不应超过下表中数值：氧气工作压力 （MPa） 0~0.1 0.1~0.3 0.3~0.6 0.6~1.6 1.6~3.5 >10，氧气较大流速 （m/s） 20以下 15 12 10 8 4，真空管道管径：，由于负压管道不易方便精确计算，可参考下表经验数据选取：，吸引管道管径估算表，管径 （mm） 15 20 25 32 40 50，吸引嘴数 （个） 12 21 24 62 84 140。

气体管道敷设要求：1、输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。2、氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氢气管道外的其它气体管道之上。3、氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。4、室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地，不得穿过不使用氢气的房间。5、气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。?气体管道与设备的连接段宜采用金属管道。

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。气体管道宜采用无缝钢管。浙江氮气气体管道设计价位

输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统。浙江氮气气体管道设计价位

负压吸引系统：系统需设水分离器，地面必须有排水槽。油润滑滑片式真空泵：具有空气冷却、低噪音、震动少的优点。内部单向阀保护吸引系统不被污染，油雾分离器保护环境和减少油的损失。由于该设备是空气冷却，设备机房必须要有良好的透风。负压吸引系统附属设备：双重细菌过滤器：防止真空泵及真空罐被污染。不中断气流可替换过滤器：2个可交替使用的微粒过滤器。污物接收器：收集污染的及液体，保护真空系统正常运转，不中断气流可清理污染物。真空缓冲罐：防止真空泵频繁起动。浙江氮气气体管道设计价位