半导体气体传感器国外的发展现状

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目前半导体气体传感器研究动态及其发展方向——气体传感器向低功耗、多功能、集成化方向发展
国外气体传感器发展快方面由于人们安全意识增强对环境安全性和生活舒适性要求提高;另方面由于传感器市场增长受政府安全法规推动因此国外气体传感器技术得了较快发展据有关统计预测美国1996年—2002年气体传感器年均增长率(27~30)%
目前气体传感器发展趋势集表现:提高灵敏度和工作性能降低功耗和成本缩小尺寸简化电路与应用整机相结合也气体传感器直追求目标日本费加罗公司推出了检测(0?1~10)×10-6硫化氢低功耗气体传感器美国IST提供了寿命达10年上气体传感器美国FirstAlert公司推出了生物模拟型(光化反应型)低功耗CO气体传感器等二增强靠性实现元件和应用电路集成化多功能化发展MEMS技术发展现场适用变送器和智能型传感器美国GeneralMonitors公司传感器嵌入微处理器使气体传感器具有控制校准和监视故障状况功能实现了智能化;还有前已涉及美国IST公司具有微处理器MegaGas传感器实现了智能化、多功能化
2国内现状与差距
气敏元件传感器作新型敏感元件传感器国家列重点支持发展情况下国内已有定基础其现状:
(1)烧结型气敏元件仍生产主流占总量90%上;接触燃绕式气敏元件已具备了生产基础和能力;电化学气体传感器有了试制产品;
(2)工艺方面引入了表面掺杂、表面覆膜及制作表面催化反应层和修隔离层等工艺使烧结型元件由广谱性气敏发展成选择性气敏;结构方面研制了补偿复合结构、组合差动结构及集成化阵列结构;气敏材料方面SnO2和Fe2O3材料已用于批量生产气敏元件新研究开发Al2O3气敏材料、石英晶体和有机半导体等也开始用于气敏材料;
(3)低功耗气敏元件(氧化碳甲烷等气敏元件)已从产品研究进入试;
(4)国内气敏元件传感器产量已超过九五初期400万支产量超过20万支主要厂家有5家黑龙江敏感集团、太原电子厂、云南春光器材厂、天津费加罗公司(合资)、北京电子管厂(特种电器厂)其前四家都超过100万支据行业协会统计1998年全国气敏元件总产量已超过600万支
总看来我国气敏元件传感器及其应用技术有了较快进展与国外先进水平仍有较大差距主要产品制造技术、产业化及应用等方面差距与日本比较仍要落10年
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1楼

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