螺杆型干式真空泵工作原理
螺杆泵工作循环分吸气、压缩和排气三过程随着转子旋转每对相互啮合齿相继完成相同工作循环现其对齿来说明
1. 吸气过程
下图示出螺杆泵吸气过程所研究对齿用箭头标出图阳转子按逆时针方向旋转阴转子按顺时针方向旋转图转子端面吸气端面
图a示出吸气过程即开始时转子位置时刻对齿前端型线完全啮合且即与吸气口连接随着转子开始转动由于齿端逐渐脱离啮合而形成了齿间容积齿间容积扩大其内部形成了定真空而此齿间容积又仅与吸气口连通因此气体便压差作用下流入其图b阴影部分所示随转子旋转过程阳转子齿断从阴转子齿齿槽脱离出来齿间容积断扩大并与吸气孔口保持连通
吸气过程结束时转子位置图c所示其显著特点齿间容积达大值随着转子旋转所研究齿间容积会再增加齿间容积此位置与吸气孔口断开吸气过程结束
2 压缩过程
下图示出螺杆泵压缩过程图转子端面排气端面里阳转子沿顺时针方向旋转阴转子沿逆时针方向旋转
图a示出螺杆泵压缩过程即开始时转子位置此时气体被转子齿和机壳包围封闭空间齿间容积由于转子齿啮合要开始减小
随着转子旋转齿间容积由于转子齿啮合而断减小被密封齿间容积气体被占据体积也随之减小导致压力升高从而实现气体压缩过程图b所示压缩过程直持续齿间容积即与排气孔口连通之前图c所示
3 排气过程
下图示出螺杆泵排气过程齿间容积与排气孔口连通即开始排气过程随着齿间容积断缩小具有排气压力气体逐渐通过排气孔口被排出图a所示过程直持续齿末端型线完全啮合图b所示此时齿间容积内气体通过排气孔口被完全排出封闭齿间容积体积变零