激光干涉仪具有快速、高准确测量的优点，是校准数字机床、坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器；
例如英国雷尼绍MLl0激光干涉仪，是根据光学千涉基本原理设计磊成酌。从MLl0激光器射出的激光束有单一频率，其标称波长隽0．633pLIn，且其长期波长稳定健(真空状态)要高0．1ppm。当此光束抵偏振分光镜时，会被分为两道光束一一道反射光糯一道透射光。这两道光射向其反光镜，然后透过分光镜反射圈去，在激光头内的探测器形成一道干涉光束。若光程差没有任俺变讫，探测器长性秘楣潢性于涉的两极找到稳定的信号。若光程差确实有变化，探测器会在每一次光程改变时，长性和相消性干涉的弼极找到变动的信号。这些变化(援格)会被计算并用来测量两个光程闻的差异变化。测量的光程就是栅格数乘以光束大约一半的波长。