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纳糯三维科技(上海)有限公司 PPGT2|Quantum X系列|双光子微纳激光直写系统|双光子微纳光刻系统
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Nanoscribe成立于 2007 年,是卡尔斯鲁厄理工学院 (KIT) 的衍生公司,并于2021年加入国际生物公司BICO,.此次战略合并巩固了其在高精度微纳加工领域的地位。作为基于双光子聚合技术( 2PP) 的微纳加工领域市场先进人物,Nanoscribe 在全球 30 多个国家拥有各科领域的客户群体, 在全球先进大学和创新科技企业的中,有超过2,500 多名用户在使用我们突破性的 3D 微纳加工技术和定制应用解决方案。基于2PP 微纳加工技术方面的知识,Nanoscribe为先进科学研究和工业创新提供强大的技术支持,并推动生物打印、微流体、微纳光学、微机械、生物医学工程和集成光子学技术等不同领域的发展。

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黑龙江德国灰度光刻系统 纳糯三维科技供应 纳糯三维科技供应

2025-06-29 02:10:27

双光子灰度光刻技术可以一步实现真正具有出色形状精度的多级衍射光学元件(DOE),并且满足DOE纳米结构表面的横向和纵向分辨率达到亚微米量级。由于需要多次光刻,刻蚀和对准工艺,衍射光学元件(DOE)的传统制造耗时长且成本高。而利用增材制造即可简单一步实现多级衍射光学元件,可以直接作为原型使用,也可以作为批量生产母版工具。Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2双光子无掩模光刻系统的设计多功能性配合打印材料的多方面选择性,可以实现微机械元件的制作,例如用光敏聚合物,纳米颗粒复合物,或水凝胶打印的远程操控可移动微型机器人,并可以选择添加金属涂层。此外,微纳米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微机电系统(MEMS)。

在双光子灰度光刻工艺中,激光功率调制和动态聚焦定位在高扫描速度下可实现同步进行,以便对每个扫描平面进行全体素大小控制。Nanoscribe称,QuantumX在每个扫描区域内可产生简单和复杂的光学形状,具有可变的特征高度。离散和精确的步骤,以及本质上为准连续的形貌,可以在一个步骤中完成打印,而不需要多步光刻或多块掩模制造。QuantumX支持多种类型衬底,包括透明和不透明的衬底,可用于比较大尺寸为6英寸的晶圆。Nanoscribe展示了其公司易于操作的光刻机,允许高纵横比,支持高结构,无需掩模、旋涂和预烘烤或后烘烤。

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