2025-05-27 04:24:33
Polos-BESM XL Mk2专为6英寸晶圆设计,写入区域达155×155 mm,平台双向重复性精度0.1 ?m,满足工业级需求。其搭载20x/0.75 NA尼康物镜和120 FPS高清摄像头,支持实时观测与多层对准。配套的BEAM Xplorer软件简化了复杂图案设计流程,内置高性能笔记本电脑实现快速数据处理,成为微机电系统(MEMS)和光子晶体研究的理想工具。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。POLOS ?:超紧凑设计,纳米级精度专攻微流控与细胞芯片。北京德国桌面无掩模光刻机
在制备用于柔性显示的纳米压印模板时,Polos 光刻机的亚微米级定位精度(±50nm)确保了图案的均匀复制。某光电实验室使用该设备,在石英基底上刻制出周期 100nm 的柱透镜阵列,模板的图案保真度达 99.8%,边缘缺陷率低于 0.1%。基于此模板生产的柔性 OLED 背光模组,亮度均匀性提升至 98%,厚度减至 50μm,成功应用于下一代折叠屏手机,相关技术已授权给三家面板制造商。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。江苏桌面无掩模光刻机光源波长405微米环保低能耗设计:固态光源能耗较传统设备降低30%,符合绿色实验室标准。
在航空航天科研中,某科研团队致力于研发用于环境监测和侦察的微型飞行器。其中,制造轻量化且高性能的微机械部件是关键。德国 Polos 光刻机凭借无掩模激光光刻技术,助力团队制造出尺寸precise、质量轻盈的微型齿轮、机翼骨架等微机械结构。例如,利用该光刻机制造的微型齿轮,齿距精度达到纳米级别,极大提高了飞行器动力传输系统的效率和稳定性。基于此,科研团队成功试飞了一款新型微型飞行器,其续航时间和飞行灵活性远超同类产品,为未来微型飞行器在复杂环境下的应用奠定了坚实基础。
在organ芯片研究中,模拟人体organ微环境需要微米级精度的三维结构。德国 Polos 光刻机凭借无掩模激光光刻技术,帮助科研团队在 PDMS 材料上构建出仿生血管网络与组织界面。某再生医学实验室使用 Polos 光刻机,成功制备出肝芯片微通道,其内皮细胞黏附率较传统方法提升 40%,且可通过软件实时调整通道曲率,precise模拟肝脏血流动力学。该技术缩短了organ芯片的研发周期,为药物肝毒性测试提供了更真实的体外模型,相关成果入选《自然?生物技术》年度创新技术案例。软件高效兼容:BEAM Xplorer支持GDS文件导入,简化复杂图案设计流程。
无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。掩模制备时间归零,科研人员耗时减少 60%,项目交付周期缩短 50%。江苏德国PSP-POLOS光刻机光源波长405微米
快速自动对焦:闭环对焦系统1秒完成,多层半自动对准提升实验效率。北京德国桌面无掩模光刻机
在微流体领域,Polos系列光刻机通过无掩模技术实现了复杂3D流道结构的快速成型。例如,中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘阵列,研究细胞球浸润行为,为组织工程提供了新型生物界面设计策略10。Polos设备的精度与灵活性可支持此类仿生结构的批量生产,推动医疗诊断芯片的研发。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。北京德国桌面无掩模光刻机