低温热热红外显微镜工作原理 欢迎咨询 苏州致晟光电科技供应

热红外显微镜是半导体失效分析与缺陷定位的三大主流手段之一（EMMI、THERMAL、OBIRCH），通过捕捉故障点产生的异常热辐射，实现精细定位。存在缺陷或性能退化的器件通常表现为局部功耗异常，导致微区温度升高。显微热分布测试系统结合热点锁定技术，能够高效识别这些区域。热点锁定是一种动态红外热成像方法，通过调节电压提升分辨率与灵敏度，并借助算法优化信噪比。在集成电路（IC）分析中，该技术广泛应用于定位短路、ESD损伤、缺陷晶体管、二极管失效及闩锁问题等关键故障。 热红外显微镜通过热成像技术，快速定位 PCB 板上的短路热点 。低温热热红外显微镜工作原理

当电子设备中的某个元件发生故障或异常时，常常伴随局部温度升高。热红外显微镜通过高灵敏度的红外探测器，能够捕捉到极其微弱的热辐射信号。这些探测器通常采用量子级联激光器等先进技术，或其他高性能红外传感方案，具备宽温区、高分辨率的成像能力。通过对热辐射信号的精细探测与分析，热红外显微镜能够将电子设备表面的温度分布以高对比度的热图像形式呈现，直观展现热点区域的位置、尺寸及温度变化趋势，从而帮助工程师快速锁定潜在的故障点，实现高效可靠的故障排查。半导体热红外显微镜图像分析区分 LED、激光二极管的电致发光热点与热辐射异常，优化光电转换效率。

热红外显微镜和红外显微镜并非同一事物，二者是包含与被包含的关系。红外显微镜是个广义概念，涵盖利用0.75-1000微米红外光进行分析的设备，依波长分近、中、远红外等，通过样品对红外光的吸收、反射等特性分析化学成分，比如识别材料中的官能团，应用于材料科学、生物学等领域。而热红外显微镜是其分支，专注7-14微米的热红外波段，无需外部光源，直接探测样品自身的热辐射，依据黑体辐射定律生成温度分布图像，主要用于研究温度分布与热特性，像定位电子芯片的热点、分析复合材料热传导均匀性等。前者侧重成分分析，后者聚焦热特性研究。

致晟光电热红外显微镜（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 实时瞬态锁相热分析系统，采用锁相热成像（Lock-inThermography）技术，通过调制电信号提升特征分辨率与灵敏度，并结合软件算法优化信噪比，实现显微成像下超高灵敏度的热信号测量。RTTLIT P20搭载100Hz高频深制冷型超高灵敏度显微热红外成像探测器，测温灵敏度达0.1mK，显微分辨率低至2μm，具备良好的检测灵敏度与测试效能。该系统重点应用于对测温精度和显微分辨率要求严苛的场景，包括半导体器件、晶圆、集成电路、IGBT、功率模块、第三代半导体、LED及microLED等的失效分析，是电子集成电路与半导体器件失效分析及缺陷定位领域的关键工具。热红外显微镜在工业生产中，用于在线监测电子器件的热质量 。

热红外显微镜是一种融合红外热成像与显微技术的精密检测工具，通过捕捉物体表面及内部的热辐射信号，实现微观尺度下的温度分布可视化分析。其**原理基于黑体辐射定律——任何温度高于***零度的物体都会发射红外电磁波，且温度与辐射强度呈正相关，而显微镜系统则赋予其微米级的空间分辨率，可精细定位电子器件、材料界面等微观结构中的异常热点。

在电子工业中，热红外显微镜常用于半导体芯片的失效定位 —— 例如透过封装材料检测内部金属层微短路、晶体管热斑；在功率器件领域，可分析 IGBT 模块的热阻分布、SiC 器件的高温可靠性；在 PCB 板级检测中，能识别高密度线路的功耗异常区，辅助散热设计优化。此外，材料科学领域也可用其研究纳米材料的热传导特性，生物医学中则可用于细胞层级的热响应分析。 热红外显微镜可用于研究电子元件在不同环境下的热行为 。国产热红外显微镜探测器

热红外显微镜能透过硅片或封装材料，对半导体芯片内部热缺陷进行非接触式检测。低温热热红外显微镜工作原理

无损热红外显微镜的非破坏性分析（NDA）技术，为失效分析提供了 “保全样品” 的重要手段。它在不损伤高价值样品的前提下，捕捉隐性热信号以定位内部缺陷，既保障了分析的准确性，又为后续验证、复盘保留了完整样本，让失效分析从 “找到问题” 到 “解决问题” 的闭环更高效、更可靠。

相较于无损热红外显微镜的非侵入式检测，这些有损分析方法虽能获取内部结构信息，但会破坏样品完整性，更适合无需保留样品的分析场景，与无损分析形成互补。 低温热热红外显微镜工作原理

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