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|列兵
气敏传感器种基于声表面波器件波速和频率随外界环境变化而发生漂移原理制作而成种新型传感器
工作原理:声表面波器件之波速和频率会随外界环境变化而发生漂移气敏传感器利用种性能压电晶体表面涂覆层选择性吸附某气体气敏薄膜当该气敏薄膜与待测气体相互作用(化学作用或生物作用或者物理吸附)使得气敏薄膜膜层质量和导电率发生变化时引起压电晶体声表面波频率发生漂移;气体浓度同膜层质量和导电率变化程度亦同即引起声表面波频率变化也同通过测量声表面波频率变化准确反应气体浓度变化
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